通用ICP光譜儀的接地電阻小于5歐姆, 計算機的接地電阻可防止相互干擾低于 0.25ω 的標準。在使用設備時, 往往要注意電源的變化, 不能長期承受壓力或低壓工作, 根據數據, 設備在壓力下運行, 如果燈管產生大功率發電機的原因過長的蒸發或老化, 管的壽命大大縮短（是正常壽命的五分之～一六分之一）時在低電壓下工作時, 電子管長絲溫度太低, 電子發射不好, 也容易導致電子排放過早老化材料。另外, 設備運行中的電源電壓波動較大, 應注意電源的質量, 這導致高頻發電機輸出功率不穩定, 對質量有重大影響的測量。ICP光譜儀的測量結果可直接從顯示器或打印機, 繪圖儀輸出讀寫器, 目前廣泛應用于幾乎所有的頻譜測量、分析和研究, 特別適用于微弱信號、瞬態信號的檢測工作。

       ICP光譜儀還可以作為原子轉化器，如中空陰極燈作為光源,ICP作為原子霧化器的原子熒光光譜儀。此類儀器不使用以 ICP 為中心的單色儀,即安裝多個檢測設備(每個元件和檢測設備),形成多元素分析系統。ICP作為霧化器的主要優點是霧化器具有高溫,一些元件可以很好地霧化,擴散問題已經克服。在計算機控制時,燈電源按順序排列到空心陰極燈的檢測單元(2000次/s),在相應的光電倍增管檢測時產生熒光,光電轉換的電信號在放大后由計算機處理,并報告元件分析結果。但值得一提的是,以ICP為原子的原子熒光光譜儀對耐火元素的測定不敏感。